千级无尘室(Class 100 Cleanroom)是一种高洁净度的环境,主要用于需要极高洁净度的制造和研究领域,如半导体制造、生物医药、精密仪器制造等。千级无尘室的洁净度标准是每立方米空气中不超过100个0.5微米及以上的颗粒。
以下是千级无尘室的一些关键特点和要求:
空气过滤系统:使用高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA)来过滤空气,确保进入无尘室的空气洁净。
气流设计:通常采用层流(Laminar Flow)设计,使空气以单向流动,减少空气中的颗粒物。
压力控制:保持无尘室内的正压,以防止外部污染物进入。
温湿度控制:严格控制温度和湿度,以满足特定工艺的要求。
人员和物品管理:进入无尘室的人员需要穿戴专用的无尘服、手套、口罩等,物品也需要经过严格的清洁和消毒程序。
定期监测和维护:定期进行洁净度监测和设备维护,确保无尘室的洁净度符合标准。
千级无尘室的建设和维护成本较高,但对于需要高洁净度环境的行业来说,这是必不可少的投资。