百级洁净室(Class 100 Cleanroom)是指每立方英尺空气中含有的粒径等于或大于0.5微米的尘粒数量不超过100个的洁净室。这种级别的洁净室通常用于需要极高洁净度的行业和应用,如半导体制造、制药、生物技术、航空航天和高精密仪器的生产等。
以下是一些关于百级洁净室的关键点:
空气过滤系统:百级洁净室通常配备高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA),以确保空气中的微粒数量保持在规定的范围内。
气流模式:为了维持洁净度,百级洁净室通常采用层流(Laminar Flow)设计,空气以单向流动的方式通过洁净室,减少湍流和微粒的积聚。
压力控制:洁净室内部通常保持正压,以防止外部污染物进入。通过控制室内外的压力差,可以有效地阻止未经过滤的空气进入洁净区。
人员和物品管理:进入百级洁净室的人员需要穿戴专门的洁净服、手套、口罩等防护装备,以减少人体带入的污染。物品在进入洁净室前也需要经过严格的清洁和消毒程序。
定期监测和维护:为了确保洁净室的洁净度符合标准,必须进行定期的监测和维护,包括空气质量检测、设备校准和过滤器更换等。
设计和施工:百级洁净室的设计和施工需要符合相关的国际标准,如ISO 14644-1和联邦标准209E等。这些标准规定了洁净室的分类、测试方法和合规要求。
百级洁净室的建设和维护成本较高,但对于需要极高洁净度的生产和研究环境来说,这是必不可少的投资。